Service de usinage de précision

Quand l'exactitude d'usinage est nanomètre ou même unité atomique (la distance de trellis atomique est 0.1-0.2 nanomètre), la méthode de coupure ne peut pas s'adapter à elle. Elle a besoin de l'aide de la méthode de usinage spéciale, c.-à-d., l'application de l'énergie chimique, de l'énergie électrochimique, de l'énergie thermique ou de l'énergie électrique, pour faire ces énergies dépasser l'énergie de liaison entre les atomes, afin d'enlever une partie de l'adhérence entre les atomes sur la surface d'objet afin d'atteindre le but ultra de l'usinage de précision, de la combinaison ou treillager la déformation. Ce genre de traitement inclut le polissage chimique mécanique, l'ion pulvérisant et implantation ionique, exposition de faisceau d'électrons, traitement à rayon laser, évaporation en métal et épitaxie de poutre moléculaire. La caractéristique de ces méthodes est que la quantité de matériel a enlevé ou s'est ajoutée à la couche extérieure peut être commandée très finement. Cependant, pour obtenir ultra l'exactitude d'usinage de précision, elle dépend toujours de l'équipement de usinage de précision et du système de contrôle précis, et emploie ultra le masque de précision comme intermédiaire. Par exemple, dans la fabrication de plat de VLSI, le faisceau d'électrons est employé pour exposer le vernis photosensible (voir la lithographie) sur le masque pour faire les atomes du vernis photosensible polymérisent (ou décomposez) directement sous l'impact d'électron, et puis les pièces polymérisées ou unpolymerized sont dissoutes par le promoteur pour faire le masque. La fabrication de plat d'exposition de faisceau d'électrons exige l'exactitude de positionnement du ± jusqu'à 100% de table de travail équipement de usinage de précision de 0,01 microns ultra.